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答案 1：
全行业……这似乎不太好拿到数据的。各个公司各个Fab都不一样。我做过一点wet process 一般来说，量产阶段的wet process不是报废大户（跟furnace和implanter比起来的话）。 wet的报废主要是交叉污染和backend的metal corrosion吧。都不太容易发生。 报废率应该是万分之一级别的。答案 2：
报废大户p-oto笑了，我猜问者是要写CIT了分享常识给亲友.
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